晶圆表面污染提取设备 - 国际招标公告 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于 $2025-$ 04-11在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1、招标条件

项目概况:包15 8吋氧化N型炉管设备 1台8吋栅氧炉管设备 1台；
8吋常压退火PBY炉管设备 1台；
8吋常压退火NSD-AS炉管设备 1台；
8吋 BPSG Reflow炉管设备 1台；
包16 8吋D-POLY炉管设备 3台；
8吋U-POLY炉管设备 1台；
8吋LP_SIN炉管设备 1台；
8吋LP_TEOS炉管设备 1台；
包17 8吋KrF Track机 1台；
包18 8吋介质刻蚀设备 2台；
包19 WAT自动探针台设备 1台；
包20 晶圆表面污染提取设备 1台。
资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备

2、招标内容

招标项目编号:0664-2540SUMECA20/20招标项目名称:晶圆表面污染提取设备项目实施地点:中国陕西省
招标产品列表(主要设备):

	序号产品名称	数量	简要技术规格 备注
	包158时氧化N型炉管设备	1台；	详见招标文件
	8时栅氧炉管设备	1台；	详见招标文件
	8时常压退火PBY炉管设备	1台；	详见招标文件
	8时常压退火NSD-AS炉管设备1台；		详见招标文件
	8时BPSGReflow炉管设备	1台；	详见招标文件
	包168时D-P0LY炉管设备	3台；	详见招标文件
	8时U-POLY炉管设备	1台；	详见招标文件
	8时LP_SIN炉管设备	1台；	详见招标文件
	8时LP_TEOS炉管设备	1台；	详见招标文件
	包178时KrFTrack机	1台；	详见招标文件
	包188时介质刻蚀设备	2台；	详见招标文件
	包19WAT自动探针台设备	1台；	详见招标文件
包20	晶圆表面污染提取设备	1台。	详见招标文件

3、投标人资格要求

投标人应具备的资格或业绩: ① 投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。

② 如为代理商投标，需具有设备制造厂商的有效授权书。
③ 投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
$\textcircled{4}$ 投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供证明材料或承诺书，承诺书格式自理）。
$\textcircled{5}$ 单位负责人授权书原件。
业绩要求：
晶圆表面污染提取设备：国内FAB装机量 $\geqslant30$ 台。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以