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北京怀柔实验室2023年第五批科研设备采购项目评标结果公示公告

北京

-

怀柔区

发布时间:2023-07-24评标公告
业主单位
北京怀柔实验室

【中国国际招标网】

项目名称:北京怀柔实验室2023年第五批科研设备采购项目

招标项目编号:1495-234thhrlab05/03

招标范围:超景深显微镜是一套半导体芯片过程检测设备,具体规格如下:1)超景深显微镜1台,用于半导体晶圆在前道干法刻蚀工艺过程中的三维微观结构检验,物镜放大倍率5×~50×;2)超景深显微镜1台,用于半导体晶圆在后道湿法腐蚀和金属化工艺过程中的三维微观结构检验,物镜放大倍率5×~50×;

招标机构:天恒招标有限公司

招标人:北京怀柔实验室

开标时间:2023-07-20 09:30

公示开始时间:2023-07-24 16:28

评标公示截止时间:2023-07-27 23:59

中标候选人名单:

候选人排名 投标商名称 制造商 制造商国别及地区
1 需解锁 Evident 日本
2 需解锁 LeicaMicrosystemsCMS GmbH 新加坡
3 需解锁 Carl Zeiss Microscopy GmbH 德国
付费解锁 查看成交供应商或中标单位等详细内容

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