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项目名称：北京怀柔实验室2023年第五批科研设备采购项目

招标项目编号：1495-234thhrlab05/04

招标范围：光学显微镜系统是一套半导体芯片过程检测设备，具体规格如下：1）金相显微镜1台，用于半导体晶圆在光刻工艺过程中的微观图形检验，物镜放大倍率1.25×~100×；2）金相显微镜1台，用于半导体晶圆在清洗工艺过程中的微观图形检验。物镜放大倍率1.25×~100×；3）金相显微镜1台，用于半导体晶圆在刻蚀工艺过程中的微观图形检验，物镜放大倍率1.25×~100×；4）金相显微镜1台，用于半导体晶圆在薄膜工艺过程中的微观图形检验，物镜放大倍率1.25×~100×；5）金相显微镜1台，用于半导体晶圆在腐蚀工艺过程中的微观图形检验，物镜放大倍率1.25×~100×；6）金相显微镜1台，用于半导体晶圆在金属化工艺过程中的微观图形检验和图形自动拼接，物镜放大倍率1.25×~100×；7）体视显微镜1台，用于半导体晶圆在前道工艺过程中的宏观图形检验，物镜1×；8）体视显微镜1台，用于半导体晶圆在后道工艺过程中的宏观图形检验，物镜1×。

招标机构：天恒招标有限公司

招标人：北京怀柔实验室

开标时间：2023-07-20 09:30

公示开始时间：2023-07-24 16:28

评标公示截止时间：2023-07-27 23:59

中标候选人名单：

候选人排名	投标商名称	制造商	制造商国别及地区
1	需解锁	Evident	日本
2	需解锁	LeicaMicrosystemsCMS GmbH	新加坡
3	需解锁	Carl Zeiss Microscopy GmbH	德国