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项目名称：北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目

招标项目编号：1495-234thhrlab02/03

招标范围：产品名称：聚焦离子束电子束双束显微镜数量：1台简要技术规格：聚焦离子束电子束双束显微镜（FIB-SEM）是一种半导体检测设备，具体规格如下：1）用于晶圆上各项工艺后的形貌观察及纳米级检测（SEM），电子束束流满足Min.小于等于1pA；2）用于实现对样品进行离子束切割加工功能（FIB），离子束束流满足Min.小于等于1pA；3）用于实现三维形貌观察分析；4）用于实现电路修复；5）用于实现EDS及EBIC功能；6）适用于6英寸及以下晶圆。

招标机构：天恒招标有限公司

招标人：北京怀柔实验室

开标时间：2023-06-08 09:30

公示开始时间：2023-06-12 18:18

评标公示截止时间：2023-06-15 23:59

中标候选人名单：

候选人排名	投标商名称	制造商	制造商国别及地区
1	需解锁	Thermo Fisher Scientific Brno s.r.o/Bruker Nano GmbH/point electronic GmbH	捷克
2	需解锁	日立高新技术有限公司	日本
3	需解锁	Carl Zeiss Microscopy GmbH	德国